儀器性能：檢測精度高，高的穩(wěn)定性，高的重復性。

　　優(yōu)異的線性相關(guān)性，銠元素陽級本身就提高了2倍檢測鎂元素的結(jié)果。

　　大型SDD硅漂移探測器的使用將從鎂到硫元素的檢測下限/精度提高了四倍。

　　大型SDD硅漂移探測器，提高了五倍銀元素的檢測下限，兩倍鎘元素的檢測下限

　　采用了重新設計的射線管、無高壓電源線、無RF噪音、更好的X射線屏蔽。

　　結(jié)構(gòu)更精密，縮短了射線管、探測器與被測樣品之間的距離，對于某些應用信號提高了~40%.

　　新的濾波輪更輕、更薄，在位置上更加接近被測樣品，具有8個濾波器，可適應高的配置，不同的元素采用不同的濾波器，產(chǎn)生好的分析效果。

　　X熒光光譜儀主要由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。其原理就是：X射線管通過產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），來激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線（又叫X熒光），并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量或者波長。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。

　　元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷，同時發(fā)射出具有一定特殊性波長的X射線，因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎。此外,熒光X射線的強度與相應元素的含量有一定的關(guān)系，據(jù)此，可以進行元素定量分析。用X射線照射試樣時，試樣可以被激發(fā)出各種波長的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長（或能量）分開，分別測量不同波長（或能量）的X射線的強度，以進行定性和定量分析，為此使用的儀器叫X熒光光譜儀。